MR傳感器
在本公司開發(fā)的特殊磁性材料中,使用具有高精度磁記錄的柵尺。此外,通過帶有的檢測模式的MR傳感器(起磁阻作用的元件)消除了諧波失真分量,從而使柵尺在保持高精度的同時,還能夠適應(yīng)惡劣的環(huán)境和劇烈的溫度變化。
耐結(jié)露和耐油性能
由于磁柵尺采用磁性檢測方式,所以不易受到機(jī)床上不可避免的結(jié)露和油污的影響,即使在惡劣的環(huán)境下,也能獲得穩(wěn)定的高精度
絕對式磁柵尺的檢測原理
在柵尺上會記錄2個磁道的模式。增量式磁道上刻有等間隔的SN Pitch信號,另一個磁道為了實現(xiàn)被稱為M-編碼的絕對式(絕對位置)而刻有區(qū)號。磁性檢測采用專為柵尺開發(fā)的特殊MR元件,實現(xiàn)了高靈敏度和低失真。
Magnescale擁有的內(nèi)插處理技術(shù),實現(xiàn)高分辨率
內(nèi)插處理技術(shù)是一種將從磁柵尺檢測到的信號波形精確地分割成所需間距(細(xì)度)的技術(shù)。例如,智能磁柵尺從以400μm的間距刻出的磁刻度檢測到相位差為90度的兩個正弦波?,F(xiàn)在將其進(jìn)行電分割,但如果信號包含失真,則無法獲得準(zhǔn)確的位置信息(真值)。從柵尺檢測到的信號中去除DC分量,實時進(jìn)行電平調(diào)整和相位調(diào)整,并通過高級處理進(jìn)行80,000次分割,以獲得分辨率為5nm的位置信息。